Резюме
Масовий потікометр є дуже важливим компонентом обладнання для виробництва напівпровідників. Стабільність його роботи часто стає ключовим фактором успіху або невдачі напівпровідникового процесу.
HORIBA STEC, Як виробник потокометрів з часткою ринку понад 35%*1 у всьому світі, компанія давно постійно пропонує високоякісні, багатофункціональні продукти для напівпровідникової промисловості. Зараз, використовуючи абсолютно нові технології, HORIBA STEC пропонує в усьому світі новий тип контролерів масового потоку: серію Z500.
Серія Z500X є абсолютно новим проривом у порівнянні зі старими моделями, і призначена змінити майбутнє технологій управління потоком. Забезпечуючи всі необхідні клієнтам функції контролю потоку, здійснюється перетворення складних газів, складних потоків. Клієнти можуть легко змінювати тип і діапазон газу для вимірювання потоку відповідно до потреб процесу*2.
Крім того, завдяки технологічним інноваціям в матеріалах виробів, серія Z500 повністю відповідає вимогам до дизайну RoHS для зелених продуктів, щоб підвищити цінність продукту для клієнтів.
Високопродуктивні протоміри серії Z500 принесуть вам ще більше сюрпризів. Світ стає свідком народження нового типу масового потікометра, який скоро змінить всю напівпровідникову промисловість.
*1 Дослідження VLSI 2007 року.
*2 Функція складного газу, складного потоку.
Особливості
Висока точність: встановлення значення потоку ± 1,0%.
Лінейна точність MFC компенсується поліномною кривою приблизення, яка забезпечує високу точність управління в різних діапазонах управління. Щоб поліпшити точність управління різними фактичними видами газів, HORIBA STEC розробила стандартну систему вимірювання газів і збирала дані калібрування різних процесних газів на основі великої кількості експериментів.
Висока швидкість реагування
SEC-Z500X використовує останню розроблену систему "змінного PID", яка гарантує, що зміни між будь-якими двома налаштованими точками потоку здійснюються протягом 1 секунди.
Композитні гази, комплексні схеми потоку
Нові продукти HORIBA STEC дозволяють клієнтам легко змінювати тип газу і поток на місці. Наше програмне забезпечення для налаштування Z500 є простим і простим у використанні. Що ще краще, для завершення цих змін навіть не потрібно демонтувати MFC з системи. Таким чином, можна значно зменшити кількість запасних частин клієнтів, заощадивши час і витрати.
Продукти та інші