Функції продукту:

Технологія очищення плазмою виникла приблизно 30 років тому в напівпровідниковій промисловості, а плазмова очищення використовується в основному для очищення вуглеводнів з поверхні зразка. Ключовим моментом чистки плазми є те, що не можна змінити хімічний склад самого зразка; не може змінювати структурні характеристики зразка; Не можна пошкодити поверхню зразка.
SOLARUS - нова передова система очищення плазми, яка видаляє забруднення вуглеводнів TEM і SEM або зразків. Solarus - це плазмена система нового покоління, модифікована новими концепціями та технологіями, що забезпечують кращу продуктивність, простоту роботи та хороший ефект очищення. У порівнянні з будь-якою іншою системою плазмового очищення на ринку, Solarus забезпечує ефективний ефект очищення.

Презентація бренду:

Американська компанія GATAN була заснована в 1964 році і вийшла на китайський ринок наприкінці 70-х років. Компанія GATAN має високу репутацію в світовому електроскопічному співтоваристві за високу продуктивність своїх продуктів та технологічний прогрес.

Як провідний світовий виробник аксесуарів для розширення та розширення функцій електронного мікроскопу, наша продукція покриває всі етапи від підготовки зразків до зображення та аналізу. Сфера застосування продукту включає в себе науки про матеріали, науки про життя, геофізику, електроніку, енергетичні науки та інші області. Клієнти охоплюють глобальні науково-дослідні інститути, університети, різні інститути та лабораторії великих промислових підприємств, а також широко визнані в галузі міжнародних наукових досліджень.

Дилери:

Opodong Co., Ltd. є провідним постачальником послуг мікронанотехнології в Китаї, це високотехнологічне підприємство з іноземним капіталом в якості інвестиційного фону. Штаб-квартира розташована в Гонконзі, з філіалами та офісами в Пекіні, Шанхаї, Ляоніні та Шаньдуні. Як важливий стратегічний партнер в регіоні Китаю з електронним мікроскопом SEMER, сканувальним електронним мікроскопом GATAN та додатковим аналітичним обладнанням, компанія дотримується бізнес-філософії "створення вітчизняного впливового бренду продажу інструментів", в міцній співпраці з брендом SEMER, GATAN, надає високоякісні продукти та міжнародні технологічні послуги десяткам тисяч китайських користувачів.

Основні технічні характеристики продукту:

Solarus - це унікальне рішення для очищення, яке використовує плазмену формулу для більш швидкого та ретельного очищення всіх зразків, включаючи вуглецеву плівку Holey. Прилад безпечно очищає поверхневі відклади забруднюючих речовин, що збільшує час спостереження за вже забрудненими зразками. Вакуумна система з молекулярним насосом в поєднанні з багатоступенною мембранною насосою забезпечує швидкий і надійний ефект насосу. Менше 1 хвилини часу помпу і випуску, 30 секунд - 2 хвилини часу очищення, весь процес не займає 2 хвилини.

Переваги використання плазмової чистки:

Підвищення можливостей зображення

Підвищення точності елементарного аналізу

У SEM продовження часу спостереження та збору EDX та EBSD

Можна використовувати менші пучки, що дуже важливо для аналізу STEM та EELS в TEM / STEM.

Основні технічні параметри продукту:

Радіочастотне джерело: 50 Вт радіочастотного джерела живлення з автоматичною відповідністю потужності

Вакуумна система: молекулярний насос 70 л/с з двоступеневим мембранним насосом

Тиск повітря: базовий тиск 5E-6 Torr, робочий тиск 400mTorr

Вакуумний регулятор: компактний регулятор Пілані

Кабина:

Два передніх інтерфейсів для встановлення адаптера TEM для встановлення бічної вставки TEM і SEM

Верхній вхід для встановлення SEM-стілів, мікроскопічних дзеркал або різних вакуумних деталей

Розмір кабіни 3,5" в діаметрі х 2,0" глибина

Передне вікно спостереження спостерігає за світленням плазми під час роботи

Вбудований електромагнітний клапан ізолює кабіну від вакуумного насосу, вакуумний час помпування менше 1 хвилини і час випуску менше 5 секунд.

Контроль газу: Використовувати точний масовий потікометр для вимірювання та контролю потоку газу

Вид газу: тришляховий незалежний газ (H2, O2 та Ar)

Рецепти для очищення: пропонує широкий спектр рецептів, що містять H2 / O2, а також підтримує налаштовані для користувача рецепти

Користувацький інтерфейс: інтерактивний сенсорний екран, що забезпечує багатомовний інтерфейс з китайською, англійською та іншими мовами

Використання енергії: загальна напруга / частота 100VAC - 240VAC / 50-60Hz / 1000W

Основні переваги Solarus у порівнянні з традиційними плазмовими чистачами:

Унікальна формула H2/O2

Швидший цикл очищення (менше 2 хвилин)

3.) Інтерактивний сенсорний дизайн

4.) Надайте 7 перевірених рецептів з одним клачком

5.) 2 передніх портів для встановлення бічної вставки TEM та SEM

6.) Верхній порт для встановлення зразків може містити кілька (> 25) TEM мікрорешетки або SEM зразки / зразки

7.) Радіочастотне джерело з автоматичною відповідністю потужності забезпечує довгострокову стабільність джерела плазми

8.) Точний контроль потоку газу (масовий потікометр)

9.) Чищення Holey вуглецевої плівки для невеликих пошкоджень

10.) Підтримка багатьох мов (англійська, китайська, японська, корейська, французька, німецька)

Основні застосування продукту:

Видалення забруднення вуглеводнами TEM і SEM зразкових стілів або зразків