Модель: K-Alpha
виробник: THERMO
Додатки: Аргон-іонний пістолет
Розмір плями: 30-400 мікронів
Режим аналізу: опційний аналіз площі, глибинний аналіз

Приклад: різні співвідношення іонної ціни O елементів покриття диоксидом титану скляної поверхні