· Стол з тришаровою клітинною опорною структурою з високопровідною магнітною нержавіючою сталлю Icr17

· Матеріал ізоляції вібрації з використанням точного типу професійного амортизатора амортизації і національного стандарту амортизації ізоляційної подушки

Мінімальна частота до 3 Гц, потужна амбітація

Можна налаштувати модель відповідно до потреб клієнтів (LШрифт,TШрифт,VШрифти тощо) Точні оптичні платформи

Плоскість не більше 0,05 мм㎡

· Шоропота поверхні менше 0.8um ~ 1.6um

Частота від 3Hz до 6Hz

Ампліна не більше 5um

· Повторювання точності позиціонування+0.05mm