головний
Крі Холл-джерело іонів Gridless
CTI На борту IS 低温泵
HVA вакуумний прямокутний клапан
Повний магнітний плаваючий турбомолекулярний насос
Thermonics ультранизькотемпературний холодильник
Інструмент і метр
Термокатодний вакуумітр PBR 260 IMR 265
Успішна операція!