головний
Крі Холл-джерело іонів Gridless
CTI На борту IS 低温泵
HVA вакуумний прямокутний клапан
Повний магнітний плаваючий турбомолекулярний насос
Thermonics ультранизькотемпературний холодильник
Інструмент і метр
Повномагнітний плаваючий турбомолекулярний насос ATH 1600 MT
Успішна операція!